标签归档:离子镀膜

真空气相沉积技术

真空气相沉积是利用热蒸发或辉光放电、弧光放电等物理过程,在基材表面沉积所需涂层的技术。它包括真空蒸发镀膜、离子镀膜和溅射。 另外,引入反应气体 ( O2, N2, CH4, B2H6, H2S, …)可以在低温条件下生成氧化物,氮化物,碳化物,硼化物等化合物 。 应用PEMST......查看全文