标签归档:蒸发镀膜

真空气相沉积技术

真空气相沉积是利用热蒸发或辉光放电、弧光放电等物理过程,在基材表面沉积所需涂层的技术。它包括真空蒸发镀膜、离子镀膜和溅射。 另外,引入反应气体 ( O2, N2, CH4, B2H6, H2S, …)可以在低温条件下生成氧化物,氮化物,碳化物,硼化物等化合物 。 应用PEMST......查看全文

真空镀膜中蓝色、紫色、红色的化学成分

真空镀膜过程非常复杂,由于镀膜原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。 并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。 薄膜均匀性的概念: 1.厚度上的均......查看全文